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国际洁净室标准-美国联邦FS-209标准
来源:深圳洁净室装修 | 作者:洁净室 | 发布时间: 2019-09-26 | 93 次浏览 | 分享到:
美国联邦标准( USA Federal Standard ) 209E ( 1992 年)209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以`M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
  美国联邦FS-209标准
  1963年底美国联邦标准FS-209颁布实施以后,即成为国际上通行的洁净室标准。随着各国洁净技术的发展,209标准在使用中遇到的各行各业特别是微电子工业发展中提出的空气洁净度等级为10级、1级以及采用国际单位制的要求,促使对209标准进行了不断的修订。fs-209E的空气悬浮粒子洁净度等级见表1-2。
图2-5 图解形式表示的各项ISO空气洁净度等级的粒子浓度值

表1-2 FS-209E标准的空气中悬浮粒子洁净度
等级名称
等级限值
0.1
0.2
0.3
0.5
5
容积单位
容积单位
容积单位 容积单位 容积单位
国际单位 英制单位 ft³
ft³

ft³

ft³

ft³
M1
350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283

M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00

M2
3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83

M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0

M3
35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3

M3.5 100

26500 750 10600 300 3530 100

M4


75700 2140 30900 875 10000 283

M4.5 1000





35300 1000 247 7.00
M5






100000 2830 618 17.5
M5.5 10000





353000 10000 2470 70.0
M6






1000000 28300 6180 175
M6.5 100000





3530000 100000 24700 700
M7






10000000 283000 61800 1750

  209E标准中,对中间任意等级的上限浓度可近似地用式(2-4)和式(2-5)计算:
  式中  M—采用国际单位制时洁净度等级的表示值;d—考虑的粒径(µm);  NM大于或等于粒径(d)的尘粒的上限浓度(pc/m³)。
  式中  N采用英制单位制时洁净度等级的表示值;d—考虑的粒径(µm);大于或等于粒径(d)的尘粒的上限浓度(pc/ft³)。
  209E标准中,同时可使用国际单位和英制单位,但优先采用国际单位。当采用国际单位时,空气洁净度等级名称为每立方米空气中粒径≥0.5µm尘粒的最大允许粒子数的常用对数值(以10为底,到小数点后一位);当用英制单位时,洁净度等级名称为每立方英尺空气中粒径≥0.5µm尘粒的最大允许粒子数。对于大于M4.5级(1000级)的各个等级,可通过测定粒径≥0.5µm或粒径≥5µm范围内的粒子数来确定。对于大于M3.5级(100级)并小于M4.5级(1000级)的各个等级,可通过测定以下一个或几个粒径相应的粒子数来确定≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm;对于小于M3.5级(100级)的各个等级,可通过测定:≥0.1µm,≥0.2µm,≥0.3µm和≥0.5µm中的一个或几个粒径相应的粒子数来确定。对于粒径尺寸从0.02µm到粒子计数器检测上限值的粒子称为超微粒子,没有规定如何划分超微粒子的等级,但在209E中规定了以U为超微粒子允许浓度的表示方法,它可以独立于表1-2的13个级别外使用,也可作为空气洁净度等级的补充。其格式为:U(i),此处的i表示超微粒子的最大允许浓度(pc/m³)
 例如“U(20)”,表示每立方米空气中含有的超微粒子数不超过20个。
  M1.5级(0.31µm),U(2000)表示粒径≥0.3µm粒径的粒子数不超过106pc/m³,同时超微粒子数不超过2000/m³。
  FS-209E标准中,对空气洁净度等级的占用状态未作规定,表1-2中表示为某一级别本身的定义,即以空气中最大允许粒子数(pc/m³)或(pc/ft³)来确定。最大允许粒子则明确只有测点数在10点以下时用统计计算方法,否则用平均值。209E标准明确规定空气洁净度等级的表达方式为X级(在Yµm下)。此处X代表悬浮粒子洁净度等级的数值,Y代表粒径。

  例如:“M2.5级(在0.3µm和0.5µm下)”,表示空气中粒径0.3µm的粒子数不大于1060pc/m³,粒径≥0.5µm的粒子数不大于353pc/m³。
  100级(0.5µm下)”,表示空气中粒径≥0.5pm的粒子数不大于100pc/ft³。
 
209E标准中明确说明,该标准仅涉及空气中悬浮粒子的尺寸等级和数量不涉及悬浮粒子的物理、化学、生物或放射等特性,没有确定悬浮粒子浓度和生物性粒子之间普遍的、通用的关系。

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